lithographie électronique à balayage
- lithographie électronique à balayage
- skleistinė elektronpluoštė litografija
statusas T sritis radioelektronika
atitikmenys: angl. scanning electron-beam lithography; write electron-beam lithography
vok. Elektronenstrahlschreibenlithografie, f; Rasterelektronenstrahlithografie, f
rus. сканирующая электронно-лучевая литография, f
pranc. lithographie à faisceaux électroniques à balayage, f; lithographie électronique à balayage, f
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“.
Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas.
2000.
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